精密陶瓷部件主要是指应用在半导体设备中的高精密复杂结构陶瓷部件。精密陶瓷部件是半导体设备的关键部件，其研发生产直接影响半导体产业发展。精密陶瓷部件需要具备高度轻量化、高尺寸精度特点，并且较多产品存在中空闭孔等复杂结构，因此其成型、烧结、制造、加工等环节技术壁垒高，生产难度大。